光電子制御プラズマCVD装置が立ち上がりました
]本年6月に装置を移設して以来、装置の立ち上げ作業を進めていましたがついに光電子制御プラズマCVD装置が立ち上がり、プラズマ生成を行うことができました。今後は光電子制御プラズマを用いた様々なプロセスに関する研究を進めていきます。




日本大学生産工学部電気電子工学科小川研究室のウェブペサイトです。
]本年6月に装置を移設して以来、装置の立ち上げ作業を進めていましたがついに光電子制御プラズマCVD装置が立ち上がり、プラズマ生成を行うことができました。今後は光電子制御プラズマを用いた様々なプロセスに関する研究を進めていきます。