2023年10月15日
本年6月に装置を移設して以来、装置の立ち上げ作業を進めていましたがついに光電子制御プラズマCVD装置が立ち上がり、プラズマ生成を行うことができました。今後は光電子制御プラズマを用いた様々なプロセスに関する研究を進めていきます。
2023年10月15日
本年6月に装置を移設して以来、装置の立ち上げ作業を進めていましたがついに光電子制御プラズマCVD装置が立ち上がり、プラズマ生成を行うことができました。今後は光電子制御プラズマを用いた様々なプロセスに関する研究を進めていきます。