学会・会議

3月15日から18日まで東京科学大学(東京都目黒区)で開催される第73回応用物理学会春季学術講演会にて、4件の発表を行います。 口頭発表/15p-W8E_101-5「Siウェット酸化の反応機構:SiO2膜の固溶H2Oの役割」(1日大生産工、2原子力機構、3東北大)今泉 学⼠1、岡部 優希1、津田 泰孝2、吉越 章隆2、 ...

学会・会議

2026年1月29日から1月30日まで東レ総合研修センター(静岡県三島市)で開催される「第31回電子デバイス界面テクノロジー研究会」にて2件の発表を行います。 ポスター発表/P22「Si(111)表面におけるLinear-Parabolic Growth遅延の酸素分圧依存性」Hengyu Wen, 津田泰孝, 岡部優希 ...

お知らせ,学会・会議

12月17日から19日まで東京ビッグサイトで開催中のSEMICON JAPANに小川研究室として出展しています。ブースでは研究室の研究成果や、光電子制御プラズマCVDで作成した、カラフルに見えるDLC薄膜などを展示中です。 快晴の冬晴れの中、大勢の人がビッグサイトに向かって歩いて行きました SEMICON JAPANの ...

学会・会議

12月13日(土)に日本大学津田沼キャンパス(習志野市)で開催される「第58回(令和7年度)日本大学生産工学部学術講演会」にて4件の講演を行いました。 口頭発表/4 − 28「光電子制御プラズマ CVD による絶縁性 DLC 成膜の研究」関 理志(日大生産工・電気(院))・小川修一(日大生産工・電気)・岡田光博・沖川侑 ...

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12月9日にウインクあいち(愛知県名古屋市)で開催される第85回CVD研究会にて、招待講演を行いました。 招待講演「放射光を活用した機能性薄膜の解析」小川修一 発表後の質疑応答だけでなく、手羽先をつまみながらの意見交換会でも、企業の方や大学関係者の皆様と大変有意義な議論ができました。

学会・会議

11月12日から14日まで東京理科大学(千葉県野田市)で開催された第39回ダイヤモンドシンポジウムにて、1件の発表を行いました。 ポスター発表/P1-15「光電子制御プラズマによるDLC絶縁膜の形成と電気特性特性評価」(日大1,産総研2)○関理志1,小川修一1,岡田光博2,沖川侑輝2,山田貴壽2 ポスター発表中の関君。

学会・会議,日常

11月5日から7日まで仙台市戦災復興記念館(仙台市)にて開催された2025 International Workshop on “Dielectric Thin Films for Future Electron Devices: Science and Technology” (IWDTF2025) にて2件の講演を ...

学会・会議

10月25日から29日までGIS TAIPEI TECH Convention Center(台北・台湾)にて開催された2025 International Thin Films Conference (TACT2025) にて1件の講演を行いました。 Poster/C-P-31"Synthesis of N-dope ...

学会・会議

10月20日から22日までつくば国際会議場(茨城県つくば市)で開催された2025年日本表面真空学会学術講演会(JVSS2025)にて、1件の講演を行いました。 口頭発表/3F12"Bayesian approach for time-resolved Si 2p XPS analysis during silicon ...

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9月7日から10日まで名城大学(愛知県名古屋市)で開催された第86回応用物理学会秋季学術講演会にて、4件の発表を行いました。 ポスター発表/7a-P05-29「積層グラフェンの電気伝導特性へのカリウム濃度の効果」(1.産総研, 2.日⼤, 3.原⼦⼒機構, 4.静⼤)〇沖川 侑揮1, 小川 修一2, 津田 泰孝3, 吉 ...