応用物理学会で講演を行います
3月15日から18日まで東京科学大学(東京都目黒区)で開催される第73回応用物理学会春季学術講演会にて、4件の発表を行います。
https://meeting.jsap.or.jp/
口頭発表/15p-W8E_101-5
「Siウェット酸化の反応機構:SiO2膜の固溶H2Oの役割」
(1日大生産工、2原子力機構、3東北大)
今泉 学⼠1、岡部 優希1、津田 泰孝2、吉越 章隆2、高桑 雄⼆3、〇小川 修一1
口頭発表/17p-W9_323-1
「O2解離吸着におけるSi表⾯電子状態の役割:Si(001)とSi(111)の⽐較」
(1原子力機構、2日大生産工、3東北大)
〇津田 泰孝1、岡部 優希2、WEN Hengyu2、吉越 章隆1、小川 修一2、高桑雄二3
口頭発表/17p-W9_323-4
「窒素ドープDLCの電気抵抗特性:N2濃度依存」
(1日大生産工)
〇焉 域霖1、関 理志1、小川 修一1
口頭発表/18a-W9_323-6
「Siドライ酸化の酸素分圧への非線形依存:熱正孔捕獲の役割」
(1日大生産工、2原子力機構、3東北大)
〇岡部 優希1、津田 泰孝2、WEN Hengyu1、吉越 章隆2、高桑雄二3、小川 修一1