ナノ材料プロセス工学研究室(小川研究室)

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    研究成果のメディア掲載

    ​2023年1月28日​研究成果

    共同研究で発表した「高輝度放射光で解き明かすシリコン酸化膜の成長過程 ~ナノデバイスの世界を支配する界面欠陥とキャリア捕獲~」について、複数のメディアで報道されました。

    日本経済新聞電子版
    日刊工業新聞
    Yahooニュース
    科学新聞

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